MEMS 中的 陀螺仪、加速度计、磁力计的工作原理

陀螺仪

基于MEMS的陀螺仪，是利用科里利奥力，对MEMS内部施加一个X方向的激励信号。

当质量块相对于震荡的系统产生Z轴方向的旋转运动时，由于Y方向的科里利奥力，质量块就产生Y方向的运动。

通过计算电容的变化，就可以计算出对应的角加速度值。

加速度计的工作原理

磁力计的工作原理